详解:你不知道的钝化触摸太阳能电池
来源:http://yingchengdh.cn 责任编辑:ag88环亚娱乐 更新日期:2019-04-07 22:25

  详解:你不知道的钝化触摸太阳能电池

  晶硅太阳能电池的外表钝化一直是规划和优化的重中之重。从前期的仅有背电场钝化,到正面氮化硅钝化,再到反面引进比如氧化硅、氧化铝、氮化硅等介质层的钝化部分开孔触摸的PERC/PERL规划。尽管这一结构暂时缓解了反面钝化的问题,但并未铲除,开孔处的高复合速率仍然存在,并且使工艺进一步杂乱。近几年来,一种既能完成反面整面钝化,且无需开孔触摸的技能成为组织研讨的热门,这就是钝化触摸(Passivated Contact)技能。当电池双面均选用钝化触摸时,还可能完成无需分散PN结的选择性触摸(Selective Contact)电池结构。本文将具体介绍钝化触摸技能的布景,特色及研讨现状,并评论怎么运用这一技能完成选择性触摸电池。

  外表钝化的演进

  图1,太阳能电池外表钝化结构的演进

  钝化的史前时代

  在90年代之前晶硅电池商业化出产的前期,太阳能电池制造商现已开端选用丝网印刷技能,但与咱们现在运用的又有所不同。首要的差异在于两点:首要其时的正面网印银浆没有烧穿(Fire-through)这一功用,因而在其时的出产线上,需求先进行网印,然后堆积其时的TiO2减反射层。另一个差异在于其时的银浆与硅构成有用欧姆触摸的才能较差,只要与高掺杂的硅才能够触摸杰出。因为TiO2没有很好的钝化功用,人们在其时并没有过多的考虑钝化。k8凯发。并且因为减反射层在金属电极之上,因而堆积的时分需求用模版遮挡主栅,以便后续的串焊。

  尽管这一时期,在实验室中,科研人员现已选用SiO2钝化电池外表,并获得不俗的开路电压和功率。

  SiNx:H第一次进化

  90年代,科研组织和制造商开端探究运用等离子体增强化学气相堆积(PECVD)技能制备含氢的氮化硅(SiNx:H)薄膜用作电池正面的减反射膜。其间原因之一在于相对适宜的折射率,但更重要的原因则在于氮化硅优秀的的钝化作用。氮化硅除了能够饱满外表悬挂键,下降界面态外,还经过本身的正电荷,削减正面n型硅中的少子浓度,然后下降外表复合速率。SiNx中带着的氢能够在烧结的过程中分散到硅片中,对发射极和硅片的内部晶体缺陷进行钝化,这对质量较低的多晶硅片特别有用,大幅提高了其时太阳能电池的功率。